走査電子顕微鏡　InTouchScope™シリーズ「JSM-IT300HR」などを紹介

日本電子は、電子顕微鏡をはじめとするナノテク分野で世界トップレベルの先端装置を開発している理科学機器メーカーです。 基礎研究から応用分野まで、国家・民間を問わず、多くの機関や企業様の研究開発を支える装置を提供しています。 国内外の先端技術の研究・開発に携わる人々から信頼され、ノーベル賞を受賞した教授や、各方面の著名人に装置を活用されています。

■　観察
新開発の電子銃とレンズ系により、驚きの高画質観察を実現。■　快適な操作性
試料交換時に操作手順が表示されるので、初心者でも安心して作業が可能。モーターステージとステージナビゲーションシステムを組み合わせれば、視野探しが光学顕微鏡感覚で行うことができます。

■　元素分析
元素分析も驚きの高感度・高空間分解能を実現。

■　軽快な分析操作
JEOLは走査電子顕微鏡（SEM）とエネルギー分散型X線分析装置（EDS）の両方を開発・製造・販売している世界唯一のメーカー。ハードとソフト、性能とデザイン、全ての面で完全なインテグレーションを実現しています。1台のPCで制御でき、観察中の画像上からワンタップで分析できます。

■　ユーザビリティを追求

■　試料のあらゆる情報を同時取得
SEMのパフォーマンスが大幅に進化。分解能の向上（1.6nm@1kV with GB）は言うまでもなく、これまでの下方検出器（LED）リトラクダブル反射電子検出器（BED）に加え、情報検出器（UED）、上方二次電子検出器（USD）が追加されています。各種検出器の使い分けにより、新しい情報を引き出すことが可能。これらの検出器の情報を同時取得することもできます。■　より早く、よりスマートに
FIB鏡筒は最大90nAの高電流密度Gaイオンビームを採用し、より大きな領域を短時間で加工することができます。またイオンビーム走査システムを改良し、より複雑な形も美しく加工することが可能。これらのFIB機能はSEMとの融合により、素早い結果取得をサポートしています。また、TEM試料作製や各種3D解析に威力を発揮しています。

■　タッチパネルによる簡単操作と充実のオート機能
■　高真空下における二次電子像観察が可能
■　反射電子像の画質向上
■　元素分析機能など豊富な機能
■　デザイン性の高い外装、省スペース