オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社(所在地：東京都品川区、代表取締役社長：合田 豊治)は、「SEMICON Japan 2023」（2023年12月13日～15日、会場：東京ビッグサイト）に出展し、「GaNパワーエレクトロニクス向けALD（原子層堆積）及びALE（原子層エッチング）技術」など、プラズマテクノロジーソリューションおよび各種分析装置を展示紹介しました。
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社とは
オックスフォード・インストゥルメンツは、産業用・研究用の高度な技術ソリューションを開発・製造し、グローバルに販売やサポートを展開しています。次世代半導体・新世代通信・高機能材料・量子技術等、多岐にわたるアプリケーションに当社のコア技術が採用されています。
当社プラズマテクノロジーが提供する独自のソリューション
当社プラズマテクノロジーが提供する独自のソリューションにより、原子レベルの極めて精緻なデバイス製造や微細加工が可能になります。ALD (原子層堆積) や ALE (原子層エッチング) を始め、ICP (誘導結合プラズマ) やイオンビームを利用したデポジションやエッチングは、現在、最先端のデバイス製造に重要な技術となっています。
■プラズマテクノロジーの情報
https://plasma.oxinst.jp/
また、大型試料対応ステージ型の原子間力顕微鏡JupiterXR、最大12インチ（300 mm）の試料を搭載できる大面積スキャニングステージ搭載のラマン顕微鏡alpha300 Semiconductor Editionを、製造ラインを最適化する分析装置として展示致しました。
■原子間力顕微鏡の情報
https://afm.oxinst.jp/
■ラマン顕微鏡の情報
https://raman.oxinst.jp/
出展社詳細
| 出展社 | オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社 |
|---|---|
| 住所 | 〒141-0001 東京都品川区北品川5丁目1番18号 |
| URL | https://www.oxinst.jp/ |
展示会詳細
| SEMICON Japan 2023 | SEMICON Japan 2023 |
|---|---|
| 展示会概要 | 半導体産業における製造技術、装置、材料をはじめ、車やIoT 機器などのSMART アプリケーションまでをカバーした展示会 |
| 会 期 | 2023年12月13日(水)～12月15日(金) |
| 会 場 | 東京ビッグサイト |
| 住 所 | 〒135-0063 東京都江東区有明3-11-1 |
| 主催者 | SEMIジャパン |
