ウシオ電機株式会社(所在地：東京都千代田区、代表者：内藤 宏治 以下、「ウシオ電機」という)、株式会社アドテックエンジニアリング(所在地：東京都港区、代表取締役会長 兼 社長： 徳廣 慶三 以下、「アドテックエンジニアリング」という)は、「SEMICON Japan 2023」（2023年12月13日～15日、会場：東京ビッグサイト）に合同出展し、それぞれ高精細・高生産性を大ショットエリアで実現する投影露光装置「UX-Series」（ウシオ電機株式会社）、マスクレス露光装置により『品質』・『スピード』・『安定性』 のバランスを実現した「DE-2」「DE-8」など異なる手法の露光装置を中心に展示紹介しました。
ウシオ電機は1964年の創業以来、「光」のイノベーションカンパニーとして数多くの革新的な技術や世界トップシェア製品を生み出してきました。これまでにない「光」の可能性を追求し、カタチにすることで、産業はもちろん環境や医療・健康問題など、世界のさまざまな社会課題解決にグローバルに貢献しています。
アドテックエンジニアリングは、高いシェアを誇るプリント基板用露光装置をはじめエレクトロニクス業界の様々な分野で培ってきた高度な技術をベースに、クライアントの課題解決に取り組み、市場を先取りした最先端の装置を開発しています。
創業以来、各種分野のFA装置を400機種以上設計・製作してきたノウハウを活かし、生産現場の生産性向上、省人化を実現しています。
自動化のプロによる、設備納入後の使い勝手や稼働状況を想定した一歩踏み込んだ提案から、製作、立上げ、保守まで一貫したサービスを提供しています。
高精細・高生産性を大ショットエリアで実現する投影露光装置「UX-Series」
8インチまでのウェハをマスクと非接触で一括露光することが可能です。深い焦点深度により段差露光も可能にし、プロキシミティアライナーには無い高生産性、高歩留りを達成します。
ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用い、パネルサイズに対応したステージを用いたパッケージ基板向けステッパーです。最先端パッケージ基板に求められる高い解像力や重ね合せ精度を実現しつつ、高生産性を達成しています。
マスクレス直接描画露光装置によりQCD向上を可能にした「DE-2」「DE-8」
FOプロセス､高精細パッケージに特化した解像性能2μｍ L/Sの新型機
Fan-Out Chip-First工程で月産7,400m2の量産に貢献している8μｍ L/S機
マスクレス直接描画露光装置の特長は、基板の寸法変化に合わせてリアルタイムに回路パターンデータを補正し、フォトマスクを使わずに露光ができます。
さらに両機種とも、Deca社のアダプティブパターニング(TM)に接続が可能です。
アダプティブパターニング(TM)は、ダイシフトや寸法変化に合わせ、デザインルールに則ってパッケージ毎の回路パターンをカスタマイズし、高精度のチップマウンタを必要とせず、高次元の歩留まりを実現します。
| 出展社 | ウシオ電機株式会社 |
|---|---|
| 住所 | 〒100-8150 東京都千代田区丸の内1-6-5 |
| URL | https://www.ushio.co.jp/ |
| 出展社 | 株式会社アドテックエンジニアリング |
|---|---|
| 住所 | 〒105-0001 東京都港区虎ノ門2-3-17 虎ノ門2丁目タワー8階 |
| URL | https://www.adtec.com/ |
| 展示会名 | SEMICON Japan 2023 |
|---|---|
| 展示会概要 | 半導体産業における製造技術、装置、材料をはじめ、車やIoT 機器などのSMART アプリケーションまでをカバーした展示会 |
| 会 期 | 2023年12月13日(水)～12月15日(金) |
| 会 場 | 東京ビッグサイト |
| 住 所 | 〒135-0063 東京都江東区有明3-11-1 |
| 主催者 | SEMIジャパン |